產品名稱

5英寸近距離蒸發鍍膜爐

產品型號

TN-MSP350S-RTP

結構

1.采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計，可向真空腔體中通入氣體

2.真空腔體：350 mm Dia x 300 mm h，采用不銹鋼制作

觀察窗口：  100 mm diameter

開啟方式：前開門式

3.真空法蘭采用316不銹鋼制造，電動升降

4.兩個 5"x5" IR 加熱板，間距可調。

5.頂部樣品架可在 0 - 7 RPM 的速度下旋轉

加熱元件和載樣臺

由20個紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部

兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調節

為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）

采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達到較好的加熱均勻性

底部載樣臺上可放入5"×5"的石墨坩堝來盛放蒸發原料

此款儀器使用時需要配用一循環水冷機（KJ-5300型，16L/min)

溫控系統

兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區，可設置30段升降溫程序

每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護

熱電偶

兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

工作溫度

每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。

兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：

間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部

樣品臺轉速：1-20RPM

流量計

兩路浮子流量計

16 -160 mL/m

500 - 5000 mL/m

真空泵

配有一套分子泵系統,采用一鍵式操作

600L/S，1x10-5 Torr 以上

電壓

208V 60HZ  三相