0371-5536 5392 0371-5519 9322
○ 產(chǎn)品介紹
TN-OTF-1200X-80-3F是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達(dá)到 10-2 torr。
○ 產(chǎn)品特點(diǎn)
雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷，使得殼體的表面溫度小于60度
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能
內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
可開啟式，更換爐管方便
○ 技術(shù)參數(shù)
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殼體結(jié)構(gòu) |
雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷，使得殼體的表面溫度小于60度 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能 內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 可開啟式，更換爐管方便 |
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功率 |
5 KW |
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電壓 |
AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
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加熱元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
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*高工作溫度 |
1200℃ |
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連續(xù)工作溫度 |
1100℃ |
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*大加熱速率 |
≤20 ℃/min |
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石英管& 密封法蘭 |
80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi) 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門 |
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加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
三個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度: (880mm, 35" in total) 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) 溫區(qū) 2: 440mm (17.3") 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。 |
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溫控系統(tǒng) |
三個(gè)精密溫度控制器，可獨(dú)立控溫 PID控制方式,通過PWM固體繼電器。 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序. 帶有過熱和斷偶保護(hù)功能 |
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控溫精度 |
+/- 1℃ |
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真空密封系統(tǒng)
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兩個(gè)不銹鋼密封法蘭 通過機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵，真空度可以達(dá)到10-4 torr. 漏氣率 < 5 m-torr / min |
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真空泵 |
采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的*小微粒直徑為0.3微米 |
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數(shù)字式真空顯示計(jì) |
可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換 |
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氣體流量計(jì)和壓力表
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三個(gè)浮子流量計(jì)，能夠檢測(cè)到氣體的流 三路浮子量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內(nèi)部安裝有一混氣罐 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，可以檢測(cè)氣體壓力及混合槽的壓力 |
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閥門 |
四個(gè)不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，用于控制氣體的流量 |
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外形尺寸 |
爐子: 1100 X 450 x 670mm 底部移動(dòng)架: 600x600x597mm |
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開門斷電 |
為保證使用**，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì) |
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凈重 |
約 90 Kg |
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運(yùn)輸重量 |
245 lbs |
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質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
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質(zhì)量認(rèn)證 |
CE certified |
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使用注意事項(xiàng) |
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加**** 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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