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CVD化學氣相沉積系統(tǒng)
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派瑞林真空氣相沉積
派瑞林真空氣相沉積（PECVD）是一種常用的薄膜沉積技術(shù)，用于在材料表面上制備薄膜。它是在真空環(huán)境中使用氣相化學反應(yīng)來沉...
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