等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場+電子→電子

(2)電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期   換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量，而且使設備維護費用也很低。

等離子廢氣凈化器產品特點性能特點：

1、，引進   技術。

2、模塊設計、靈活簡便，安裝簡單，占地面積小。

3、放電強度大，產生等離子體密度大。

4、聯合等離子體中光子的協同作用較傳統的電暈放電和DDBD，加的降解廢氣。

5、空氣阻力小，減少壓降損失，耗電量小。

6、適用于多數的惡臭廢氣和廢氣，降解率高。

7、電極不與處理廢氣直接接觸，使用壽命長。

8、不宜用于高溫高濕度的氣體，大風量情況下不建議使用。

低溫等離子廢氣凈化器應用：

a、治理油煙粉塵，如大型火力發電廠、卷煙廠、紡織品廠、印刷廠、造紙廠、鋼鐵廠、水泥廠等。

b、治理廢氣、異味氣體，如污水處理廠、泵站、化工廠、制藥廠、香精廠、屠宰場等。

c、空氣凈化，如醫院、餐飲、賓館、娛樂場、車船，候車室等公共場所等。